非接觸式3D表面測量系統

NanoSystem NSM-5060P非接觸式3D表面測量系統

產品描述

NanoSystem NSM-5060P非接觸式3D表面測量系統用于PCB基板表面形貌的測量。

基板上的Via Hole，Pad形狀，pattern形貌和表面形貌等11個項目可以進行自動測量。

在高速測量下仍具有優秀的重復性和準確性，支持用戶設定測量條件和測量數據自動保存及分析功能。

產品規格

測量方式：非接觸式白光干涉

垂直掃描速度：6.0μm/Sec

垂直掃描范圍：270μm

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm  PSI: <0.1nm

臺階高度重復性:﹤0.1% @ (1σ)

照明光源：LED illunination

換鏡轉盤：電動

相機：640x480

FOV鏡頭：x0.55，x0.75，x1.0, x1.5, and x2.0

干涉物鏡：x2.5，x5，x10，x20，x50

物鏡：x5，x10

橫向分辨率：0.45-2.6um（取決于物鏡和FOV）

XY stage：XY Stroke：630x630mm

Z Stage: 50mm

工作臺面：610X610mm (程控) 

尺寸：1300(w)X1400(D)X2100(H)

重量：2200Kg

應用領域

Nano View系列為LCD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）、Substrate（基板）、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機電系統），Engineering Surfaces（工程表面）等等領域提供納米級別精度的量測。包括：PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

ISO 25178 · 4287 國際規格標準化數據

按照ISO國際標準機構規定的規格，以圖表、表格、2D•3D圖像的形式大面積顯示粗糙度、高度及幅度等各類數據。

圖形的粗糙度評價Roughness evaluation of images

Nano System利用從ISO、ASME、EUR等多家國際標準機構獲得的30多個粗糙度參數來評估Sample的粗糙度。